真空泵維修：確定極限真空度，在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的jia工作真空度。一般來(lái)講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。

應(yīng)用

目標(biāo)應(yīng)用包括：

PVD

電介質(zhì)刻蝕

導(dǎo)體刻蝕

金屬刻蝕

植入源

客戶也將 iGX 用于一系列 清潔和輕負(fù)載應(yīng)用。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。

油位開(kāi)關(guān)

用于遠(yuǎn)程監(jiān)控 油位，以防對(duì)泵造成潛在損壞。單獨(dú)提供或 與 PT100 或 120?C 傳感器配合提供。

溫度 傳感器

用于監(jiān)控油溫的 PT100 和 120?C 溫度傳感器。

入口 過(guò)濾器/入口承接罐

入口過(guò)濾器可阻止碎屑進(jìn)入泵機(jī)構(gòu)，因而可用于大限度地 延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。入口承接罐可保護(hù)泵不受大量可冷凝蒸汽 的損害。

真空泵的常見(jiàn)故障是漏油、不能達(dá)到極限真空度和不能啟動(dòng)。判定故障后, 維修方法是更換老化的密封部件, 添加和更換新油、清洗油路、更換老化的配油器、旋片和彈簧, 更換損壞的電源器件和電機(jī)線圈等。后給出真空泵的性能改造位置和方法。

一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長(zhǎng)換油期限。有條件的對(duì)管中同樣進(jìn)行清理，確保管路暢通。