氣體質量流量控制器的密封材料如何選擇？

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

使用氣體質量流量控制器注意事項

1.怕粉塵, 若粉塵進到氣體質量流量控制器內部會阻塞傳感器和分流器, 導致數據誤差, 所以建議在MFC進氣口前加裝過濾裝置;

2.怕液體和油漬進到MFC, 一旦有液體進入到MFC內部會導致無法控制,所以建議在MFC進氣口前端還要加裝干燥裝置，假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;

3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統開展烘干解決;，并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性，還要使用惰性氣體對管路進行吹掃，然后再通腐蝕性氣體，等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路，保證管路中不會殘存腐蝕性氣體。

4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時不按安全性標準實際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。

5.使用MFC前還需要將MFC進行通電預熱，保證MFC在不通氣時，瞬時流量處于0的位置，如果不通氣時，瞬時流量顯示有一定的數值，表示傳感器出現“零漂”現象，可以先對MFC進行調零處理，否則將影響MFC的精度。

質量流量控制器能用比例閥代替嗎？

不可以的，一般我們常說的比例閥就是電磁調節閥，雖然可以起到一定的流量調節作用，但無法做到準確，穩定的流量控制，而氣體質量流量控制器（MFC）是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流，是可以實現準確、穩定的流量控制，并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號，比例閥根本滿足不了MFC能起到的作用。

氣體質量流量控制器特點

利用流體流過發熱物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系，再通過微電子控制技術，將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。

采用全新的進口傳感技術以及高精度的機械加工技術，能實現微小流量測量和控制，其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工化工環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制