真空設(shè)備檢漏
聽(tīng)音法
氣體從小孔中噴出時(shí)，會(huì)發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類(lèi)等。根據(jù)氣體漏出時(shí)發(fā)出的聲音判斷有無(wú)泄漏。
該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠(chǎng)噪音較大，則小的聲音就不易聽(tīng)清。同時(shí)，由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低，所以不會(huì)因本底污染而導(dǎo)致誤報(bào)警。使用聽(tīng)診qi，某種程度上可以消除周?chē)胍舻挠绊懀?tīng)清泄漏聲音，但有時(shí)與泄漏無(wú)關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會(huì)混雜進(jìn)來(lái)，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話(huà)筒和放大器將聲音放大。但此時(shí)其它聲音也同時(shí)放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測(cè)壓力為0.3MPa，周?chē)浅０察o的條件下，可以聽(tīng)出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
這種方法既簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)。使用聽(tīng)診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽(tīng)，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點(diǎn)，即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測(cè)環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測(cè)法并用。
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真空設(shè)備檢漏
一個(gè)真空系統(tǒng)，經(jīng)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間抽氣之后，仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度，可能的原因有:抽氣情況不良，即抽氣系統(tǒng)本身的問(wèn)題。放氣，即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源。漏氣，即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。一旦出現(xiàn)信號(hào)響應(yīng)，說(shuō)明有氫氣通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件中，從而指示漏孔的位置與大小。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問(wèn)題，即準(zhǔn)確檢出漏孔并加以修補(bǔ)。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問(wèn)題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位，以便修補(bǔ)堵漏。
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氫氣檢測(cè)儀在氫氣泄漏檢測(cè)中的應(yīng)用
燃料應(yīng)用氫氣可以用作燃料,具有資源豐富、熱值高、潔凈等特點(diǎn)。
不過(guò)，氫氣雖然用途廣泛，但在使用過(guò)程中也有很多缺點(diǎn)。氫氣要安全儲(chǔ)藏和運(yùn)輸并不容易，它重量輕、難捉摸、擴(kuò)散速度快，需低溫液化，會(huì)導(dǎo)致閥門(mén)堵塞并形成不必要的壓力。
氫氣氣體檢測(cè)儀對(duì)氫氣檢測(cè)反應(yīng)迅速且，以保證有危害發(fā)生時(shí)可以及時(shí)報(bào)警，是當(dāng)今工業(yè)領(lǐng)域檢測(cè)氣體靈敏并可報(bào)警的檢測(cè)儀，其設(shè)計(jì)可以適應(yīng)這些惡劣的工作環(huán)境。主要包括以下三種常用的氫氣氣體檢測(cè)儀：
便攜式氫氣檢測(cè)儀。便攜式氫氣泄漏檢測(cè)儀可連續(xù)檢測(cè)作業(yè)環(huán)境中氫氣濃度。世界領(lǐng)1先水進(jìn)的聲學(xué)技術(shù)真空打檢機(jī)/真空檢漏機(jī)當(dāng)容器經(jīng)過(guò)探頭時(shí)，探頭在容器頂部施加一個(gè)“非接觸式”的敲擊動(dòng)作，使容器頂部發(fā)出聲音，不同真空度的容器會(huì)發(fā)出不同的聲音，先進(jìn)的聲學(xué)技術(shù)根據(jù)聲音來(lái)判斷容器是否發(fā)生泄漏。氫氣泄漏檢測(cè)儀為自然擴(kuò)散方式檢測(cè)氣體濃度，采用進(jìn)口電化學(xué)傳感器，具有的靈敏度和出色的重復(fù)性；氫氣檢測(cè)儀采用嵌入式微控制技術(shù)，菜單操作簡(jiǎn)單、功能齊全、可靠性高、整機(jī)性能居國(guó)內(nèi)水平。
氦氣
氦氣穿透能力強(qiáng)，且易，對(duì)漏點(diǎn)有很好的檢出能力，可讓細(xì)微小洞無(wú)處可逃。氦氣檢漏就是采用氦氣來(lái)檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因?yàn)楹ぴ拥某叽绾苄 涞姆肿恿颗c氦氣相近，是所有化學(xué)元素中分子量輕的元素，有很好的擴(kuò)散性，逃逸性很強(qiáng)，吸附及粘滯性很低。用氦氣穿過(guò)小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部，氦氣檢漏方法能夠檢測(cè)出尺寸很小的小洞，靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡(jiǎn)便。氦氣檢漏方法：首先把封裝好的元器件放入充滿(mǎn)氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過(guò)小洞而進(jìn)入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質(zhì)譜儀來(lái)檢測(cè)管殼外表所漏出的氦氣。